二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9160258 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一种高性能的光致抗蚀剂设备，用于半导体工业加工微加工元件。FSI Zeta 300利用高分辨率投影对准系统，精确对准微型件。TEL Zeta 300采用自动接触式对准器，可提供纳米级对准精度，并确保光敏材料的均匀曝光。Zeta 300还配备了分辨率监视器，可以在过程中准确监控组件的开发。TOKYO ELECTRON Zeta 300还提供多种底物预处理和后处理溶液。这包括一个自动湿加工站、自动测量单元和专门的材料加工能力。此外，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300配备了可编程智能装载机/卸载机，可以在过程的不同阶段之间移动晶片。FSI Zeta 300利用两个源板电子束曝光系统，将光敏材料精确地暴露在所需紫外线辐射下。这些系统一次最多可处理两种底物，每个接触周期最多可输送7,500 mJ/cm2，并且可以编程为每个场提供均匀剂量。电子束系统能够分辨出尺寸小于0.5 μ m的特征，并且能够暴露光刻胶、电介质或金属等材料。TEL Zeta 300还具有自动厚度监视器（ATM）,能够自动测量光刻材料的厚度。自动取款机能够同时监测基板上多达20个区域，从而能够准确测量和控制开发过程。Zeta 300还配备了专门的大气压力等离子体CVA （APPC）机，能够生产高能氧等离子体用于可靠的热板或晶片回磨，从而减少晶片断裂的机会。APPC工具还能够为特定的工艺后应用生产各种其他气体。最后，TOKYO ELECTRON Zeta 300还配备了一个热板资产，用于在基板上统一分配光敏材料。热板也可用于进行软烘烤操作。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300易用，可由单一使用者管理，非常适合低批量生产环境。