二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta G2 #9204590 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2是一种光刻设备，采用先进的专有技术设计，为半导体工业MEMS等工艺提供蚀刻和光刻能力。FSI Zeta G2提供卓越的边缘敏锐度和高分辨率,帮助制造商生产一流的产品。它整合了原子层沉积和过程控制两项基本技术，创建了先进的光刻胶系统。TEL Zeta G2是一种大气压蚀刻器，配置了最新的等离子体源技术，以提供精确和均匀的蚀刻。它旨在更精确可靠地蚀刻薄膜，同时还提供高长宽比蚀刻和高蚀刻率均匀性。该装置还具有改进的真空室PID控制器，有助于增强不同工艺条件下的蚀刻。Zeta G2还具有基于系统的光刻方法，结合了高长宽比蚀刻、精确晶圆对准和迭加精度。它配置了高通量光刻轨迹，以帮助确保在蚀刻过程中均匀且可重复的图样性能。此外，它还有一个先进的自动化光学计量系统，有助于对工艺结果进行更精确的测量。TOKYO ELECTRON Zeta G2还配备了全自动集群工具，通过减少过程中所需的手动调整次数帮助降低成本。这种自动化的群集工具有助于加快加工时间,减少由于蚀刻或光刻不准确而导致的故障。群集工具还有助于标准化流程配方，允许用户在一次运行中设置多个流程。总体而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2是一款先进的光刻机,为MEMS制造等工艺提供出色的蚀刻和光刻能力。它采用了蚀刻和光刻的专有技术、先进的自动化集群工具、改进的真空室PID控制器以及自动光学计量，以帮助确保更准确的结果。借助FSI Zeta G2,制造商可以更及时、更经济高效地实现高质量的产品。