二手 FSI / YIELDUP Omega 4000 #180522 待售

製造商
FSI / YIELDUP
模型
Omega 4000
ID: 180522
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Megasonic wafer cleaning system, 8" (2) Stand alone tanks Automatic loading Process: Marangoni and SC1 Set up to inject SCi NHOH and H202 Mix typical clean solution (50) Wafer boats 1" Inlet-35-60PSI @10gpm Nitrogen: 75-85 PSI Exhaust: >350cfm Drain 30gpm, 2" or larger Operating temperature: 70 Degree, ±3 degrees Operating humidity: 40, ±6%RH Megasonic unit not included Recirculated tank only Currently de-installed 1997 vintage.
FSI/RIELDUP Omega 4000是一种光刻设备,用于从印刷电路板和其他材料创建设备和组件。该系统利用光将图样蚀刻到一系列基材中,可用于正负光抗蚀剂。FSI Omega 4000利用精密的光学对准和计算机控制的自动化,非常适合高精度项目。该单元由光源组成,使各种类型的光刻胶得以使用。它使用不同的光源来选择性地暴露基板。这包括用于捕获精细细节的发光二极管(LED)和用于捕获高分辨率细节的激光通量光学器件。此外,采用先进的照相机对成品进行精确成像和检测.RIELDUP Omega 4000支持负极和正极光抗蚀剂工艺。负光抗蚀剂的作用是保持暴露在光线下的图样,负光抗蚀剂的蚀刻被应用在光抗蚀剂的显影之后。利用正的光刻胶,通过光照蚀刻图样,并在显影后保留图样。这使用户能够保留精细的细节并更好地控制其设备的制造。该工具能够达到高达4微米的分辨率和高达3毫米的厚度。其先进的光学器件还可以在大面积上提供+/-0.03%的失真,对于较小的区域也可以提供+/-0.005%的失真。Omega 4000是一种先进的光刻胶资产,可为广泛的应用提供高精度的结果。它非常适合那些要求高分辨率、准确性和可重复性的项目。它已被证明是市场上最先进的光刻胶系统之一。
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