二手 GALILEO 1650 #9152142 待售

GALILEO 1650是由SUSS MicroTec製造的精密光刻设备。它为成本效益高的光刻技术提供了最先进的光刻系统。该单元专为研发应用而设计，如制造晶片用于制造半导体和MEMS器件、生物芯片和光学元件。1650机器具有先进的晶圆级,用于无振动扫描和自动平整。它使用先进的基于干涉仪的工具来精确定位精度高达0.2 µm和0.22°。资产还具有高达每秒200步的高步进速度和450 mm x 450 mm的大场大小。GALILEO 1650型号配备高分辨率数码相机（600万像素），用于点阵成像，用于晶圆的精确对准和配准。成像设备还能够拍摄视频以更好地查看晶圆表面。数字成像支持365nm、436nm、2000nm、6x12 mm和8x12 mm等多种胶片格式。包括一个完整的软件套件，以便用户友好地控制系统。软件套件包括模式开发、工艺定义、晶片装卸、曝光、自动检查、维护等程序。直观的用户界面为所有级别的用户提供了一个易于使用的环境。1650单元还配备了高效烧蚀机，可提高生产率和产量。烧蚀工具具有温度和排放综合控制功能，以确保最佳效果。最后，GALILEO 1650光致抗蚀剂资产为制造晶片和芯片提供了一个成本效益高且可靠的解决方桉。该型号配备了精确的定位精度、出色的成像能力以及高效的烧蚀设备。用户友好的软件和直观的用户界面使系统成为各种用例的理想选择。