二手 GELON GN-135 #9392734 待售

GELON GN-135是一种高精度光刻设备，用于各种基板上的精密蚀刻或图样。它特别适用于需要精确和高分辨率结果的光刻应用。该系统采用独特的纳米层设计，可实现高工艺速度和长期可靠性。GN-135是基于使用紫外线在基板上创建图样的直接写入光刻单元。光线通过包含所需图桉的遮罩发光，紫外线被遮挡或通过遮罩传到基板上。这种技术允许在不依赖昂贵的光掩码的情况下进行可变和精确的图样。GELON GN-135由多个组件组成,它们协同工作以提供出色的蚀刻和图样处理结果。第一个组件是一个转向机构，允许精确定位和对准面罩的基板。第二种成分是聚合物基抗蚀剂材料，用于保护底物上未蚀刻或未触摸的区域。这种抗蚀剂材料对紫外线敏感，暴露时"置入"，防止在保护区内蚀刻。GN-135的第三个组成部分是光源。使用波长在UV范围内的光（高达约300 nm）可确保光能够穿透抵抗材料，允许精确的图样以高度的精确度。第四个组件是蚀刻装置。这种装置的工作方式因被蚀刻的材料不同而不同，但在大多数情况下，它将涉及某种化学反应，以"蚀除"底物中未受保护的区域。GELON GN-135的最终部件是其精密控制机。此工具确保以准确的方式执行整个蚀刻过程。它允许微调掩模对准、光强度和蚀刻速度。这样可以实现一定程度的精确度,这与手动技术难以匹敌。总之，GN-135是一种高精度的光致抗蚀剂资产，用于精细基板的精确蚀刻和图桉。它由多个组成部分组成，共同努力提供精确的结果，其精确控制模型确保了一定程度的准确性和可靠性，而手动过程是无法实现的。