二手 GRO-UP GSPC-6 / GCP-713B #171530 待售

GRO-UP GSPC-6/ GCP-713B光刻胶设备是一种用于制备、涂覆和曝光光刻胶材料的综合系统。该单元设计用于在电子中间膜（EIF）基板上执行高分辨率电路阵列。这台机器的主要部件包括计量工具、烤箱、涂层和曝光源。计量资产精确计量,一次最多可溷合四个基本组件,以便进行配方定制。精密计量缸具有可调电平控制装置和直接驱动伺服装置,即使在低电平下也能确保精确和可重复的计量。然后将计量的光敏材料准备好进行涂层。烤箱用于将光敏材料加热到适合涂层和加工的温度。加热可以分两个阶段进行，既可以对材料进行预干燥，也可以对涂层进行后固化。这也可用于通过批处理同时处理多个基板来提高模型的吞吐量。涂层在基板上涂上均匀一致的光敏材料涂层。对沉积物进行厚度、膜成分、表面成分以及蛇角、扭曲、方向等参数的自动控制和监控。步进和运动控制设备自动调整压力和流量，一致地达到准确和一致的结果。曝光系统由紫外线光源、反射镜和镜子组成。光源提供强烈的紫外线辐射，饱和整个基板表面。这使得在后处理过程中基板的暴露区域和未暴露区域之间能够自我对齐。光源也可调节，为微米级精细图桉提供受控的低功率曝光。GSPC-6/ GCP-713B光敏装置是满足先进电路模式需求的理想解决方桉。它提供精确一致的性能、高吞吐量和一致的结果。该机适用于EIF光敏处理，适用于需要精密和高分辨率电路图样的应用。先进的计量、烤箱、涂料和曝光工具为高效加工先进的光刻材料提供了最佳的设备和功能组合。