二手 HEADWAY CB 15 #9392727 待售

HEADWAY CB 15光抗蚀剂设备是一种先进而坚固的化学气相沉积（CVD）系统，旨在在固态基板上产生高质量的光致抗蚀剂层。它能以最少的时间、精力和成本发展电影。该单元利用专有的过程控制功能、自动化的运行结束诊断以及定制的组件来实现卓越的光刻胶层粘附强度和均匀性。该机由一个自动化的加工室、一个真空工具、一个空气供应的加热室以及控制和监测软件组成。CVD过程涉及在基板表面上沉积一层光敏材料薄膜。接下来是一系列腐蚀性清洁或整理步骤，以及应用保护层或光掩层。在CB 15资产中，该过程是通过将含有光致抗蚀剂前体的大气蒸气送入工艺室而启动的。这会产生悬浮在空气中的反应物分子的汽化气体。该装置具有高效的一次疏散周期和最短的恢复时间。它的压力可变歧管和内置加热器允许用户精确控制工艺室内的压力和温度范围。这有助于确保光致抗蚀剂层在基板上的均匀沉积和可靠的粘附性能。模型的运行结束诊断程序会自动检测过程的有害副作用,如气泡和空隙。HEADWAY CB 15设备可与多种光刻胶材料搭配使用，从传统的有机光刻胶（OPR）到光刻胶聚合物和无机材料。它能够精确、均匀地沉积甚至非常薄的光刻胶层，因此非常适合需要精确层厚的高端应用。CB 15能够处理石英、硅、砷、氮化硅、的材料，与标准的光刻和湿蚀加工兼容。该系统可以远程操作，并得到综合用户手册的支持，以确保正确高效的操作。它的自动化运行结束诊断和实时记录过程参数确保了进一步的易于操作。最后,该设备配有一系列定制的附件和更换设备,以防硬件出现故障。因此，HEADWAY CB 15光抗蚀剂单元是在固态基板上进行光抗蚀剂层精密沉积的理想选择。