二手 HEADWAY EC 101 #114660 待售

HEADWAY EC 101是一种用于半导体制造的光敏设备。它是一种自旋涂层系统，结合了一种自旋高达300 RPM的光敏化学物质，使其可以应用于厚度均匀的晶片表面。此单元可用于将适当的电路阵列到芯片和其它元件上进行制造。HEADWAY EC101是一种单面机器，有一个供操作员装载和重新装填的分配器站、一个旋转涂层模块和一个曝光后烘烤站。该工具的设计易于维护，操作员干预最少，并具有精确的流量控制、低辐射暴露和高产率。使用双喷嘴资产设计进一步加强了自旋涂层工艺,使自旋涂层时间得到独立控制,这对于高质量晶圆图样制作结果至关重要。该模型还包括一个集成的自旋冲洗和吹出设备，有助于减少晶片上残留液体，并消除任何污染，这将有助于减少乱七八糟和质量问题的机会。此外，一个综合气体辅助曝光后烘烤站有助于提高晶圆上产生的模式的清晰度和质量。EC 101设计为与现有单面光刻胶系统兼容,具有多种安全功能,包括真空保护和冷却剂损失检测。它还设计用于人体工程学和易用性，以确保该系统能够在人类干扰最小的情况下运行。该装置设计用于小型和大型半导体制造，是任何一种芯片生产的绝佳选择。