二手 HEADWAY EC 101 #114662 待售

HEADWAY EC 101是一种设计用于微电子制造过程的光刻设备。它是一种水溶性有机硫聚合物光刻材料，在光刻和蚀刻过程中为保护功能化基板而开发。HEADWAY EC101系统包括两个组件：抗蚀液和显影液.抗蚀剂液体中含有聚合物光致抗蚀剂材料，该材料被涂在基材上。一旦暴露在紫外线辐射下，聚合物材料交联并充当保护层。显影液在光刻或蚀刻过程完成后用于溶解聚合物光刻材料。这一过程被称为"发展"，是清除光刻或蚀刻后可能残留在基板上的任何不需要的抗蚀剂材料所必需的。EC 101单元的优点包括成本低、处理时间快、分辨率高。此外，抗蚀剂液体和显影液与广泛的光刻和蚀刻技术兼容，包括高级光刻、深反应性离子蚀刻（DRIE）和化学机械平面化（CMP）。与其他光刻胶系统相比，EC101成本低使得它成为半导体芯片制造商非常有吸引力的选择。它也是高级光刻应用的可靠选择,因为它的高分辨率结果使制造商能够在其芯片上创建更复杂的设计。此外,HEADWAY EC 101机器与化学屏幕兼容,使OEM能够减少与开发定制解决方桉相关的成本。此外,通过快速处理时间,它可以实现高吞吐量,这意味着制造商可以提高其资源的效率。综上所述，HEADWAY EC101工具是各类半导体芯片制造的绝佳选择，提供了极大的成本节约和优异的分辨率效果。此外，它与各种不同的光刻和蚀刻技术的广泛兼容性使其能够可靠和适应各种需要。