二手 HEADWAY EC 101 #9185483 待售

HEADWAY EC 101
製造商
HEADWAY
模型
EC 101
ID: 9185483
Photoresist coater With 15" diameter bowl and table top stand.
HEADWAY EC 101是设计用于金属表面精加工的先进光刻设备。该系统采用环氧基抗蚀剂制剂,用于表面制备和处理后应用。抗蚀剂配方具有一定的粘度和固体含量,固化温度为90°C。抗蚀剂配方通过喷雾、滚动或刷子应用在表面。涂抹固化后,抗蚀剂会在表面形成保护膜。薄膜可以抵抗腐蚀和水分,同时提供均匀、均匀的光洁度.HEADWAY EC101单元利用了一个专有的水蚀刻包装,该包装由OxPhos和基于KOH的溶液组成。OxPhos是磷酸和磷酸钾的溶液。它提供了金属表面的高效蚀刻,并将去除残留物从以前的处理或加工操作。基于KOH的溶液设计用于有效和一致的氮化物和氧化物去除。蚀刻封装会套用到表面,并在顶部放置遮罩。然后使用掩蔽光源有选择地暴露光敏中和区域,以使金属有控制的蚀刻。根据抗蚀剂的厚度和性质,可以使用几种光致抗蚀剂。每种光致抗蚀剂的蚀刻速率通过控制曝光和固定过度显影来控制,从而迫使蚀刻剂在光致蚀剂周围或上方。除了抗蚀机和蚀刻包,EC 101工具还包括一个后处理步骤来保护成品。后处理包括可选浸入热碱性氯化溶液或热硝酸溶液。热溶液在成品周围形成防止氧化、腐蚀和水分的保护密封。使用EC101资产,成品更能抵抗氧化、腐蚀和湿气,从而产生更耐用、更持久的金属表面处理和产品。
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