二手 HEADWAY EC 102 #9123998 待售

HEADWAY EC 102是一种单涂层的负光抗蚀剂设备，旨在提高微光刻光学印刷应用中高纵横比沟槽的产量。光致抗蚀剂系统由正光致抗蚀剂EC 102和一种正在发展的化学物质组成，它们共同提供增强的分辨率、低线缘粗糙度（LER）和改进的线宽控制。正光抗蚀剂HEADWAY EC 102由长链聚合物、光酸发生器和提供增强平面化的添加剂溷合组成。与热固化系统相比,长链聚合物结构具有更高的分辨率和更好的线缘粗糙度（LER）,而光酸发生器和添加剂的合并则通过提供更高的蚀刻选择性比来增强平面化。对EC 102光敏装置的化学性质进行了优化，以提供高蚀刻选择性、长期稳定性和对多种基材的出色粘附。机器有低温烘烤要求，意味着加工过程中不会受到高温的影响。此外,光刻胶在背面灰泥和升空过程中可承受高达300 °C的温度。HEADWAY EC 102光电抗蚀剂工具旨在为生产线提供高通路。它的低温烘烤要求允许更快的基材整合和预涂层加工，缩短循环时间。此外,它与各种标准加工设备（如晶圆清洁器、干燥器和曝光系统）的兼容性确保了低成本的高性能。此外,EC 102光刻材料具有很高的可靠性.它的特点是热稳定性、水解稳定性和氧化稳定性高，使得它可以在广泛的加工温度和环境中使用。光刻胶模型也很容易使用；其强大的配方使其适合任何温度、湿度和暴露条件。综上所述，HEADWAY EC 102是一款单涂层、负片的光刻设备，旨在提供出色的分辨率、线缘粗糙度（LER）和线宽控制。其低温烘烤、高蚀刻选择性、长期稳定性和与多种标准加工设备的兼容性，使其成为微光刻光学印刷应用的理想选择。