二手 HEADWAY LSC 510 #123052 待售

HEADWAY LSC 510是为原型开发和生产的光刻工艺而设计的商用光刻设备。该系统由交付单元和光刻单元两个主要组件组成,并由三个激光扫描控制器（LSC）提供动力。送货单元装有激光二极管单元，为光刻过程提供能量。将所需的图样转移到晶圆上开始于光掩模图样。聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）被涂在面膜的前表面，接着是一层铬铂或另一种金属。然后将掩模置于基板上方，并暴露于激光二极管的紫外线辐射下。这引发了最初被光刻胶覆盖的基板的变化，只暴露了激光二极管能够到达的区域。光掩模图样向基板的转移是通过光刻单元实现的。此单元包含三个组件-曝光级、扫描单元和光束发生器。曝光阶段包含一个高精度的机动化x-y级，该级容纳晶片，以及一个在曝光期间控制晶片角度的倾斜机。扫描工具将激光二极管沿定义的方向在光掩模上来回移动。光束发生器负责激光和激光二极管的强度。光刻单元由三个激光扫描控制器（LSC）控制，它们提供了成功光刻过程所需的位置精度和计算机控制。他们控制激光的高精度坐标，监测光掩模图样和定位激光二极管所需的精度。LSC 510是快速原型制作和批量生产的理想选择。它的精确度和紧凑的设计使得它适合多种类型的环境和过程。它是光刻项目的可靠、经济高效的解决方桉，并提供精确的结果。