二手 HEADWAY PWM 32 #9153890 待售

製造商
HEADWAY
模型
PWM 32
ID: 9153890
Photo-resist spinner P/N: 9-22793.
HEADWAY PWM 32光刻设备是集成电路光刻的先进工具。它设计用于制造半导体器件。该系统将变频激光源与用于在基板上应用光刻材料的定制软件相结合。HEADWAY PWM 32的变频激光源在极其广泛的操作参数上提供极高的功率和快速响应。这包括范围广泛的波长和功率水平,从0-8W@145mJ/cm2。激光源还具有近场效应抑制和快速脉冲序列编程的特点。专门设计的光学器件在整个基板上产生均匀的光束光斑尺寸,以及用于精确光束光斑放置的出色光束控制。该光学器件允许对不同类型电路的最佳写入位置进行极其精确的定位。PWM 32还具有可用于控制激光源、光刻材料和基板的定制软件。软件为用户提供了一个简单直观的界面。它允许完全控制激光功率和脉冲速率以及选择和保存特定模式的能力。该软件还可用于精确测量光刻胶厚度,并控制其应用。PWM 32的创新设计还提供了一个用于精确光刻胶应用控制的自校准单元。自校准机可以检测参数的任何变化并进行相应调整,确保在基板上准确一致的光刻胶应用。总体而言,HEADWAY PWM 32光刻工具是集成电路光刻的先进、可靠且用途极为广泛的工具。它即使在高灵敏度下也能提供极好的精度和控制,其自校准资产使其成为光刻胶应用的高度精确可靠的模型。
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