二手 HITACHI PR stripping system #293670389 待售

HITACHI PR剥离设备是使用HITACHI High-Technologies Corporation专有技术的光阻去除系统。该装置设计用于各种半导体和薄膜器件晶圆厂工艺。该机还适合与介电层、光刻胶和其他有机残留物一起使用。该工具可靠性高，可快速高效剥离光刻胶。它采用红外（IR）光、紫外线和干热的组合。这三个组件的组合允许冷热干式剥离。该资产利用红外技术，提供局部、受控的能量，并精确检测光刻胶层。紫外线组件通过提供光刻胶的非接触式化学活化和实现精密剥离，增强了蚀刻工艺。该加热器可用于热剥离光刻胶和介电层。该模型基于优化参数，提高了剥离质量，其特点是晶片对晶片的变化较小。它旨在最大限度地减少颗粒和缺陷的形成，同时实现高通量。设备包括内部和外部加热元件振荡的"三维"加热能力，以确保热量的均匀分布。这确保了一个统一的旁路速率。此外，为增加透光而在样品上涂抹的特殊薄膜提高了红外和紫外元件的检测精度。系统配备了触摸屏界面，允许用户监视、更改和存储流程参数。还具有温度控制、压力控制、层厚监测等功能。该单元可用于多种光刻去除工艺，包括光刻、石刻和干刻。也适合与介电和有机残留物一起使用。该机可靠性高，可提供快速、准确的剥离，不牺牲质量或吞吐量。