二手 HOLLMULLER BAD-ADY / 65 #9016241 待售

製造商
HOLLMULLER
模型
BAD-ADY / 65
ID: 9016241
优质的: 1989
System, 1989 vintage.
HOLLMULLER BAD-ADY/65是在半导体工业中广泛使用的先进光刻设备。它由两个主要层组成:底层(通常是半永久性的)光致抗蚀层和顶层"绝热"层。光致抗蚀层由对光敏感的聚合物材料组成。当一个图样的光暴露于这层时,聚合物材料会溶解,留下光刻胶层只能透过绝热层可见的一个图样孔。绝热层由环氧基材料组成,旨在确保整个表面均匀连续的层。正是这层提供了针对底层光刻胶的"保护性"屏障,因为它的作用是减少到达光刻胶层的入射光量。这允许孔的模式保持恒定和可预测的,无论什么变量被引入到系统。BAD-ADY/65单元是半导体制造的理想选择,因为它允许高精度和精确度。它在光源曝光方面也有一定程度的灵活性,允许广泛的曝光时间来取得不同的结果。机器有一个表面钝化层,有助于防止任何电荷效应发生在成品上,从而提高产品的产量。该工具还具有曝光后烘烤(PEB)工艺,这有助于硬化所创建的模式。这有助于减少光暴露在其上时产生的光致抗蚀剂的收缩,防止最终产品的光学特性出现任何不一致。最后,它还能够实现出色的成像分辨率,从而使产品具有高度的细节和清晰度。总体而言,1002HOLLMULLER的HOLLMULLER BAD-ADY/65光致抗蚀剂资产是任何希望通过半导体制造工艺实现高质量、高精度和高精度的人的绝佳选择。其均匀的绝热层提供了有效可靠的防入射光屏障,而PEB工艺和表面钝化层则提供了进一步的保护和精度。除此以外,模型的多功能性还允许广泛的曝光时间,这取决于用户的需求。
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