二手 HONGSU BOE #9328982 待售

製造商
HONGSU
模型
BOE
ID: 9328982
晶圆大小: 5"
Photoresist removal system, 5" DI Water N2 CDA H2SO4 H2O2 Acid exhaust Power supply: Single phase, 220 V, 3-wire, 210 A, 46.2 kVA.
HONGSU BOE是一种在表面上制造聚合物薄膜涂层的光刻设备。这种光致抗蚀剂系统使用光感应剂和聚合物粘合剂的溷合物。聚合物粘合剂的目的是使光致抗蚀剂具有物理性质。光引发剂的目的是在暴露于紫外光下,方便粘合剂的自由基聚合。光致抗蚀剂单元用于创建图样、蚀刻电子元件以及在基板上形成金属化。京东方提供多种具有溶解度、粘度、抗特定化学蚀刻材料能力等多种性质的光刻胶。这种光刻胶是液体光刻胶系统的干膜替代品。在基板上涂抹光刻胶时,将HONGSU BOE膜涂抹在薄膜中。薄膜可以使用旋转涂层、铸造、浸渍或喷涂。一旦光敏涂层到位,基板就会使用光刻打印机暴露在紫外线辐射下。光分子在紫外线照射时破裂,导致自由基在光致抗蚀剂上形成。这引发了一系列反应,导致光致抗蚀剂聚合成粘附在底物上的相干质量。裸露的区域在发育时变硬并形成浮雕模式。经过显影后,光敏材料被去除,浮雕图样留在基板上。浮雕图桉是所需的图桉,用作蚀刻蒙版。蚀刻面罩描述了从基板上蚀刻出来的区域,例如电子元件的重要图桉。经过蚀刻过程后,光致抗蚀剂的残留物被去除,以暴露底物的有机或无机材料。总之,BOE是一种用于在基板上创建图样的光刻机。该工具要求在基板上应用薄膜光刻胶,暴露于紫外线辐射,开发光刻胶浮雕图样。这种光致抗蚀剂资产在电子、金属化、图样化等领域因其高效有效的成果而广受欢迎。
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