二手 HONJIG HJ-W003D #9292547 待售

HONJIG HJ-W003D是一种用于半导体基板上碱洗和干蚀刻工艺的光刻设备。它由光引发剂（PI）和光致抗蚀剂（PR）两个组分组成。PI用于引发光敏反应，而PR在加工过程中充当保护性涂层。HJ-W003D系统是为温度控制的过程设计的，范围从-40到+150°C，具有极好的均匀性。它是专门为高厚度均匀性的快速固化而配制的，可加工至300 nm，从而实现高密度图样。它能够从特征孔中去除PR,并实现无阻抗的干蚀刻。HONJIG HJ-W003D光敏装置由于其化学成分和专门设计的工艺而具有很高的可靠性和鲁棒性。它可以用于包括硅、移植物、砷化氙、砷化铝和有机基板在内的多种半导体基板上进行图样、抛光、金属化。该机还具有对广谱、UV-A和发光二极管（LED）的出色灵敏度,适用于薄膜应用。此外，HJ-W003D由于具有较高的图样解析能力，能够实现卓越的图像处理能力。它还允许精确的模式形成和优秀的粘结强度。它还可以配合先进的MEMS和纳米尺度特性。此外,HONJIG HJ-W003D符合RoHS、REACH、Green Building Initiative （GBI）和最高环境绩效指数（EPI）等多种行业标准和法规。它与多种化学品和材料具有极好的兼容性；并提供较高的残留率线分辨率。其结构允许在金属和有机膜上进行无冲击涂层。总的来说,HJ-W003D光刻工具是一个先进的解决方桉,使精确的图样和线条分辨率.该资产高度可靠、坚固、符合行业标准,能够与各种化学和材料类型兼容。