二手 IVI Box Coater #9008297 待售

IVI Box Coater是一种光刻系统，旨在提供一种有效的方式来涂覆硅、石英、玻璃和金属等多种基板。适用于手动和自动涂层操作。该系统由涂层和控制单元两个主要组件组成。涂层由一个厚壁不锈钢室制成，该室包含必要的光刻胶应用组件，如气体密封的加工窗口。控制单元是带有按钮的触摸屏监视器，用于控制反应压力、反应温度、速度和快门等各种过程。光致抗蚀剂通过气体密封供应装置引入加工室。Box Coater使用低压化学气相沉积（LPCVD）工艺将膜沉积到给定基板上。有机光致抗蚀剂材料在通过光源暴露于辐射时分解，光源选择性反应在基板表面形成薄膜。过程通过控制单元屏幕进行监控，其中反应压力、反应温度、速度、快门等参数都可以精确调节和监控。借助计算机辅助设计（CAD）软件，可以精确地设计光刻胶图桉。也可以配置曝光时间和模式分辨率等参数。为确保操作员的安全，在涂层上安装了安全防护装置。它具有自动安全系统和盖子互锁开关，以防止未经授权使用设备。IVI Box Coater是光子学、半导体和微电子学等多个行业实验室应用的绝佳工具。它可以快速、方便地用于各种基板的高效、可靠的涂层。其先进的特点使其成为高效、准确的薄膜沉积的理想选择。