二手 IZOVAC Aurora G5 #9395190 待售
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ID: 9395190
Single side metal coater
Type: Vertical
Coating method: Sputter
Substrate: GaAs Wafer, (80) Substrates / Carriage
(2) Carriages
Membrane: (6) Metal layers
Tact time: 336 sec
Carrier moving speed: 0.245 m/min
Cathode distance: ≥1000 mm
Coating thickness: 120 mm ≤±5%
Auto loading / Unloading (Portal type robot, TBD)
Substrate uncoated area: <2 mm
RGA PC, protection valve, ports
Substrate size: Square with rounded edges
Maximum: 108.5 mm x 108.5±0.5 mm
Minimum: 106 mm x 106 mm
Corner radius: 4.5±0.5 mm
Edge exclusion: 2 mm around
Thickness range: 0.55 mm - 0.65 mm
Substrate coating area: 102 mm x 102 mm
Acceptable temperature: ≤250°C
Etching:
Ion beam source (Linear)
Remove 10 A - 50 A ≤±5% across each pallet
Magnetrons:
DC Planar magnetrons (MSS)
(11) DC Rotary magnetrons (CMSS)
Pumps:
Dry mechanical pumps
Turbo molecular pumps
Cryogenic pumps.
IZOVAC Aurora G5是一种最先进的光刻设备，设计用于在各种微观应用中提供可靠、精确的结果。光致抗蚀剂系统用于在各种表面上创建高度精确的微观结构,包括玻璃、硅和其他材料。改进后的Aurora G5系统设计允许比标准光刻系统更高的精度。该单元能够产生具有尖角的特征，所产生的特征的角度可以精确控制到弧度的几分钟之内。IZOVAC Aurora G5的特性尺寸范围可以从一微米调整到40微米。凭借其先进的软件包，它可以产生形状复杂的图桉，比如圆、螺旋和星星，即使在三个维度上也是如此。Aurora G5机器高度自动化,允许高效、无人值守的生产。预编程工具产生高度详细和可重复的图样，防眩光保护和光束监视器校准等特性确保光掩模保持稳定，传递的光如预期。G5资产还有一个改进的紫外线源，既明亮又精确。这样可以更快、更精确地曝光光刻胶，从而能够以传统光刻胶系统无法实现的方式创建微米级图样。紫外线暴露源可以调整以产生更加均匀的覆盖范围，从而能够形成更加复杂的特征。IZOVAC Aurora G5还配备了先进的成像模型。这样可以快速检查和评估光刻胶所产生的特性。总体而言，Aurora G5光刻设备针对速度和精度进行了优化，高度自动化和用户友好。它为各种微观应用提供了精确、可重复的结果,并且是创建尖角和高特征密度的复杂图桉的可靠工具。
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