二手 IZOVAC Heliosiz #9395189 待售

IZOVAC Heliosiz是一款先进的光刻设备，旨在提供极其精确、一致和可重复的微涂层结果。它提供了一种严格控制的工艺，提高了复杂涂层在各种基材上的精度和可重复性。该系统将对所有涂层参数的全自动控制与综合计量相结合，允许快速的过程反馈和优化。该过程从使用电子束（EB）或深紫外线（DUV）曝光在基板上形成抗蚀层开始。然后利用缓冲水性显影溶液开发暴露的抗蚀层，以显示所需的表面图样。一系列的后暴露烘烤和后显影烘烤选项确保了最佳膜的形成.自动化软件控制单元允许基板加热、曝光和加工参数易于调整。它还在整个过程中提供了出色的数据完整性和可追踪性。为了确保批次之间的均匀性，机器包括自动采样和自动调整所有工艺参数。Heliosiz使用专门的流明线技术精确定位曝光头，以减少抗蚀层重迭的可能性。可以修改确切的暴露时间和暴露时间，以应对各种挑战，例如高水平的粉尘污染。它还提供曝光后烘烤，必要时，以防止过度曝光更微妙的抗蚀层。IZOVAC Heliosiz使用专门的染料涂层功能为设备提供多种涂层。该特征可用于保护细腻的特征，增强抗性材料的附着力，方便敏感活性材料的沉积。可以使用适当的计量工具来评估由工具执行的任何涂层的最终性能。Heliosiz是一种用途广泛、功能强大且精确的光刻胶资产，为各种基材提供高度可重复的涂层效果。自动化的过程控制和过程优化允许严格控制所有过程参数,而计量则允许快速调整模型的反馈。这为生产环境中已证明的一致过程提供了基础。