二手 JAS JAS-591TM #9360825 待售

JAS JAS-591TM Photoresist Equipment是一种专为开发和表征用于晶片级制造工业生产的光刻材料而设计的专用仪器。该系统以高速机械臂单元为中心，可以将各种光刻材料精确应用到基片表面上。这个手臂设置有一个高度精确的舞台装配和一个微定位平台，可以在所有三个维度上进行控制和调整。除了机械臂之外，JAS-591TM还包括许多其他组件，包括光束发生器、高强度激光器、电极和真空源。光束发生器与激光和电极协同工作，蚀刻出基片上预定的图样。激光强度可调，可精确控制光刻胶的发展。同时，利用真空源在光阻显影过程中为室内提供恒定的低压环境。该机还配备了多种诊断和显示仪器，包括温度监视器、示波器、加热器以及其他各种传感器。温度监测器可确保光敏材料在显影过程中保持最佳粘度,而示波器可测量和显示在基片晶片上创建的光敏图样的图像。同时,加热器在整个光致抗蚀剂显影过程中使腔室保持均匀温度.最后，该工具利用数字接口，对光刻胶的开发过程进行简单和复杂的控制。此界面允许用户选择激光功率、图桉大小和层厚度等各种参数。这些参数可以单独调整，以便以极高的精度和控制创造出错综复杂的光刻胶图桉。简而言之，JAS JAS-591TM光刻资产是晶圆级制造材料工业生产的宝贵工具。该模型结合了高精度机械臂、可调激光器和数字接口，确保了光刻胶图样的高精度和精确度。这些组件加在一起，使其成为创建集成电路和其他微制造过程中极为通用和有效的工具。