二手 JEOL 5000 #9281572 待售

JEOL 5000是一种用于制造半导体集成电路的光敏设备。它是一种高分辨率、高精度的无掩码光刻系统，用于将图样蚀刻成各种光刻材料的薄膜，如聚甲基丙烯酸甲酯、二氧化硅、多晶硅。该单元可用于创建多种不同的晶圆尺寸，直径从200毫米到450毫米不等。5000光刻机的主要用途是将图样蚀刻成半导体薄膜。为此，该工具利用计算机软件调制的聚焦光束将预先编程的图样绘制到光刻材料上。为了确保模式的准确性和可靠性，该机器配备了一个11轴电动级，可以精确控制梁的轨迹和位置。两个独立操作的物镜可用于分辨率增强。资产配备了多种照明图样和计算工具，包括先进的分色算法，以确保在蚀刻过程中准确打印所需的图样。JEOL 5000还具有金属或磁性薄膜图样的特定功能，配有对准和检查功能。它还能够控制多层模式和特征。5000还作为微电子器件结构的高精度光刻工具。它配备了掩模对准模型和掩模加载设备，使模式传输能够在几秒钟内完成。该系统还能够处理从80°C到450°C的各种基材温度,并具有强大的烘烤程序,以确保从低到高的精确温度。JEOL 5000是一种高效、可靠、高精度的半导体集成电路制造光敏装置。它的微处理和对准能力，加上其电动级，使机器能够提供精确和可靠的结果。它用于制造各种集成电路元件，从存储器到处理器，可用于生产多种不同尺寸和封装格式。