二手 JEOL JFC-1600 #293621202 待售

JEOL JFC-1600是设计用于半导体生产的先进光刻设备。它是半导体芯片成型精密元件和特点的关键部分。这种光致抗蚀剂系统具有一个曝光源，它提供高度准直的光，使晶片表面具有特定的图样。此光源可精确配置,以确保精确的光照量,从而获得一致的图样精度。曝光源由一个电动晶片级作为后盾，可进行多次晶片曝光，并具有精确的放置和准确的曝光时间。该曝光单元使用具有可调光斑尺寸的高级可变对焦镜头和高级可变对焦元件，用于对焦、色差和失真的精确控制。机器可以处理直径达8英寸的半导体晶片，曝光部位之间的间距可调。曝光部位尺寸可调，范围从500微米到70微米。曝光源最多可以有四条可调节的曝光源线，允许多步曝光。为了高效操作和理解,该工具包括曝光设置和操作的视觉效果,并在内部液晶显示屏上突出显示。这允许有效的参数调整、管理和监控。该资产还受到IP保护,可以连接到本地以太网环境以进行远程监视和管理。为了安全起见，该型号包括安全卫士和在设备使用时启动的护罩。该系统配备了自动曝光中断，以防止晶圆表面过度曝光。最后，该机组包括一台专用的洁净室空调机，以减少晶圆表面的污染。这种光致抗蚀剂工具的高性能和高效率使其成为几乎所有半导体生产应用的完美工具。对于希望生产高精度半导体芯片的人来说，这是一个经济高效且可靠的选择。