二手 JEOL JFC-1600 #293818828 待售

JEOL JFC-1600是为高质量光刻和图样应用而设计的光刻设备。它是一个全自动的全尺寸系统,能够实现40 nm分辨率的阵列。该单元适用于单、多掩模曝光，采用高度先进的JEOL独占TTL（透射+反射）对齐方法。它配备了图像层反演技术，能够在同一基板上精确对齐有图桉的层。JEOL JFC 1600能够处理直径达200毫米的器件基板，在全尺寸图样下比传统光刻系统快得多。该机采用了一种先进的光学柱，提供了高达40纳米（nm）的高分辨率，均匀平均伽马为0.85，使其非常适合单次和多次蒙版曝光，以及多次模式对准。它还提供高达12.735°的扫描角度和高达31.5°/秒的扫描速度。此外，JFC-1600还配备了一种独特的旋转多层次阵列工具，能够实现更大范围的阵列多样性和准确性。JFC 1600光刻胶资产采用可靠、易于使用的模型控制软件，可实现快速设置和方便操作。它还包括一个组件和材料库,这些组件和材料可容纳能够满足要求最高的任务要求的各种基板。该设备具有高精度、高速的自动对准功能,非常适合复杂的光刻任务。软件能够自动补偿掩码模式的任何不对齐,从而使用户能够以更高的精度快速准确地生成模式。最后,JEOL JFC-1600得到JEOL世界级客户服务和技术支持服务的支持,有助于充分利用系统的多功能性和性能。JEOL JFC 1600光刻单元具有出色的性能和强大的性能,是那些需要最高质量光刻和图案化解决方桉的用户的理想解决方桉。