二手 JEOL JFC-1600 #9261178 待售

JEOL JFC-1600是一种光阻设备，设计用于利用光和紫外线辐射的组合在基板上产生精细结构。这种装置使用高精度的遮罩对准器，能够将预先图桉化和预先曝光的光刻胶遮罩精确定位到基板上。掩模对准器的级分辨率为200亚微米，允许高精度的平版印刷图桉。JEOL JFC 1600利用i-line紫外线进行曝光。这种光被用来暴露敏感的底物层，引发与光刻胶的化学反应，形成持久的图样。为了控制暴露的基板层的曝光能量和光学轮廓，光的强度是可调的。除了光照外，JFC-1600还提供蚀刻工艺。蚀刻过程在受控环境中使用等离子体在基板上生成所需的图样。等离子体蚀刻工艺确保表面清洁，精度高，消除了光刻胶膜中残留的任何残留物。JFC 1600利用轨道放置系统快速准确地将所需的图样定位到基板上。该单元简化了平版印刷图样制作过程，确保了暴露的基板被精确地放置和对齐。最后，JEOL JFC-1600还提供了一个加热机器，使高温基板键合。这一过程对于确保所需的图样牢固地附着在基板层是非常重要的。高温粘合过程还可以改善图样对基板表面的粘附。JEOL JFC 1600是一种高效、精确的光电抗蚀剂工具，可精确控制制图过程。该装置能够在严格的公差范围内生成精细的平版印刷图桉，确保所需的图桉牢固地附着在基板上。