二手 KAIJO 1030/1108 #9149824 待售

KAIJO 1030/1108
製造商
KAIJO
模型
1030/1108
ID: 9149824
晶圆大小: 8"
Wet bench, 8".
KAIJO 1030/1108是日本材料公司KAIJO开发的光刻胶设备。光致抗蚀剂系统用于制造微电子元件和设备,以便在化学和蚀刻工艺之前使表面对光敏感。KAIJO 1030/1108是一种液态浓缩光刻胶系统,有四个组分;碱性(碱)精矿、酸性(活化剂)精矿,共三层抗蚀膜和一个显影剂,用于在蚀刻过程中与抗蚀膜一起使用。KAIJO 1030/1108是一种独立的解决方桉,可用于多种抗蚀工艺,包括镀铬和干蚀刻。碱性浓缩物作为抗蚀剂的碱,而酸性浓缩物是活化剂或敏化剂。溷合浓缩物必须精细溶解、活化,然后涂在基材上才能获得所需的抗蚀剂。这种抗蚀剂对薄材料特别有用,因为液体精矿很容易被吸收到基材中,具有较高的灵敏度。KAIJO 1030/1108对有机溶剂也有很高的抵抗力,使得它可以用于更广泛的工艺类型。抗蚀膜必须小心翼翼地与底物和抗蚀型相匹配,三种抗蚀膜提供灵活性,并允许优化蚀刻效果。然后利用显影剂在蚀刻后溶解剩余的抗蚀膜。KAIJO 1030/1108是一款用途极为广泛、性能极高的光刻机床,适用于广泛的蚀刻工艺。它提供了卓越的防腐覆盖均匀性,具有较长的保质期和易于应用。浓缩液被迫达到受控厚度,易于施用,确保结果均匀,几乎没有浪费。
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