二手 KAIJO RT-449 #293634121 待售
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KAIJO RT-449是为各种微电子和半导体器件制造应用而设计的高精度光刻设备。系统的特点是分辨率高，均匀性高，曝光时间极低。RT-449利用特殊的光源和曝光几何来实现其高分辨率。该源是一种高功率激光二极管，能够产生320-370nm范围内的紫外线，高能量密度高达500mJ/cm2。该单元还配置了一个蒙版对准器，该对准器配备了一个x、y和z轴控制的蒙版支架以及一个连续供应的蒙版。KAIJO RT-449光刻机包括一个控制工具，允许用户编程曝光时间和扫描速率等曝光参数。这项资产还设有一台帮助控制激光二极管和掩模支架的微型计算机，以及一个在曝光期间维持临界无氧气氛的氮气净化模型。为了确保整个工件的高度均匀性,RT-449采用先进的成像设备进行设计。该系统利用强大的图像处理算法，能够测量曝光时间、光照强度和基板上每个位置的均匀性。该单元还配备了高速扫描镜，能够以高可靠性重复精确成像。KAIJO RT-449还提供了广泛的工艺参数，如曝光时间、波长、温度和压力。这有助于优化结果的质量。此外，机器还配备了污染控制工具，有助于保持暴露环境清洁，无灰尘和颗粒。RT-449为高精度光刻应用提供了理想的工具,例如细线生产、3D图样和IC测试。KAIJO RT-449光致抗蚀剂模型具有高精度的成像能力和先进的成像资产，是实现微电子和半导体器件制造工业高质量成果的重要工具。
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