二手 KAIJO RT-824T-1 #9134881 待售

KAIJO RT-824T-1光刻涂层设备是一种全自动旋转涂层系统，旨在将高精度薄膜沉积应用于各种尺寸的基板。其应用非常适合于光致抗蚀剂自旋涂层。KAIJO光致抗蚀剂涂层装置采用创新的两阶段分配工艺，采用高粘度和低粘度材料提供均匀的薄膜沉积。该机包括分配阶段、旋转涂层阶段和分配后阶段，从而方便高效地处理材料。分配阶段采用喷嘴设计提供均匀的薄膜沉积，该喷嘴设计最适合不同类型的光敏材料，如负性和正性光敏抗蚀剂配方。分配阶段采用脉冲喷雾机制，通过可编程逻辑控制器（PLC）进行控制和监控。这允许精确和可重复的薄膜沉积。旋转涂层阶段采用驱动主轴，由四个无维护的清洁控制通道组成。这保证了平衡旋转，这对于均匀的薄膜沉积是必不可少的。此外，步进电动机驱动可确保转速的重复性，并对薄膜参数设置提供更大的控制。分配后阶段提供了一个独特的光学基板支架，可以垂直和水平移动。此功能使操作员能够调整保持力和阵列对齐方式,从而为操作员提供进一步的控制和灵活性。总之，RT-824T-1光敏涂层工具是光敏薄膜沉积的理想的经济高效的解决方桉。其两阶段分配过程和可调后分配阶段使其成为实现各种薄膜沉积需求的灵活平台。KAIJO光刻涂层资产精度高，使用方便，可对不同尺寸的基板应用高精度薄膜沉积物。