二手 KAIJO RT-844A #9134688 待售

KAIJO RT-844A Photoresist Equipment是一种精确的自动化系统,用于在半导体基板上涂覆光刻胶。该装置适合与多种光刻胶搭配使用。适用于光刻、薄膜沉积、蚀刻、图样转移、介电沉积等应用。机器由一个四级腔室、一个自旋涂层、两个自旋堆栈和一个运输工具组成。腔室的第一阶段，即预处理阶段，配备了一种调节机制，可以让光刻胶使质量结果最大化。它还包括一个通风资产，以减少静态积聚。第二级是光敏涂层室。这个腔室有一个自旋涂层、两个自旋堆栈和一个涡轮泵。自旋涂层控制自旋的角度和速度，可以很容易地针对各种光刻胶公式进行调整。两个自旋堆栈同时支撑两个自旋涂层，减少循环时间，增加吞吐量。涡轮泵会立即将腔室排空,确保涂层保持均匀均匀。第三阶段是曝光室。该型号具有高分辨率显示屏,可精确调整曝光。它还具有光束轮廓监视器,可帮助确保达到所需的曝光水平。曝光室还有一个多图桉的遮罩对准器，可以快速精确的对准。第四阶段为曝光后烘烤室。该腔室用于加热光致抗蚀剂，以确保其达到最佳性能。温度控制的加热器可确保光致抗蚀剂加热到所需的水平。设备还有一个计时器来控制光刻胶的烘烤时间，允许准确一致的结果。总体而言，RT-844A光刻胶系统是一个可靠、精确的单元，可用于各种光刻胶应用。通过其四级腔室、旋转涂层、两个旋转堆栈和曝光腔室，该机提供了优异而一致的效果。理想用于光刻、薄膜沉积、蚀刻、图样转移、介电沉积。