二手 KAIJO RT-974T #9149821 待售

KAIJO RT-974T光电抗蚀剂设备是开发和加工光电抗蚀剂的通用可靠工具。它为集成电路制造、光盘切割和MEMS制造等多种应用提供了卓越的性能。该系统由一个高性能曝光单元、一个光显影单元和一个光刻胶处理室组成。RT-974T的曝光单元是一个步进重复单元，具有精确的高功率激光光源，可以将图像精确投射到基板上。它配备了先进的自动对准控制系统,减少了设置时间,并最大限度地减少了手动调整的需要。此外,该机器具有高速度和高精度,分辨率高达0.1 μ m,以及多镜头,可提供比单镜头系统更好的性能。该工具的照片显影器具有非常高效和可靠的容量。它的开发人员旨在减少由于组件性能变化而导致的操作员错误。这一单元有一个内置的微处理器控制的化学供应资产，可确保为成功加工提供精确数量的所需化学品。KAIJO RT-974T光敏处理室具有精确的温度控制和湿度管理，以及内置的空气净化和真空输送模型。它的控制还可以实现快速循环时间和较低的设备压力传导,从而实现更高效的电源处理。此外，它还配备了先进的晶圆稳定系统，因此可以防止晶圆摆动和流动运动，同时还能实现最佳温度，以提高抗性能。RT-974T光刻胶系统为光刻胶加工提供了可靠有效的平台.其耐用和通用的系统在各种应用中都非常有效，确保了高产率和准确性。它的自动化能力减少了操作员的错误，提高了吞吐量，其先进的设计提高了处理质量和可靠性。凭借其先进的特点和高效率的性能，该装置一定能满足光刻胶制造和加工的最高要求。