二手 KAIJO RT-985T #9134882 待售

KAIJO RT-985T是专门为生产半导体微结构而设计的光刻设备。它运行的基本前提是，可以利用材料的非线性能量吸收特性，在基板上有选择地产生响应紫外线辐射的电掩层。在其核心，RT-985T利用一个439nm深紫外线激光源的薄的光刻材料的曝光。当紫外线被吸收到光致抗蚀剂层中时，会发生化学反应，将一个非导电的、交联的聚合物网络分散在底物上。这种全自动系统能够精确地暴露典型的光致抗蚀剂层，而不会受到可能损害设备的不良加热。此外,KAIJO RT-985T单元还具有独立的红外源和快门激活功能.快门操作过程中的红外辐射有助于在暴露时刻保持一致的温度，减少自然碎片沉积，否则可能干扰光的传递。利用先进的软件，机器操作员可以在纳米尺度上控制基板的图样，有效地计算曝光剂量以获得最佳性能。这一特性通过K-GATE工具包得到进一步管理，该工具包允许同时控制基板上的辐照区域，以进行极其精确的设计。RT-985T工具提供的一个值得注意的便利是工作召回功能。这样操作员就可以轻松地从关联的存储文件中调用作业并在几分钟内开始生产。通过嵌入式缓冲区管理进一步缩短了生产时间,使资产可以提前预知不可用掩码的转移。总而言之，KAIJO RT-985T是一种可靠且功能齐全的光刻胶模型，非常适合高精度生产半导体微结构。