二手 KAIJO SRT-300 #9127768 待售

KAIJO SRT-300是一种用于半导体工业的光敏设备。它设计用于光刻环境。它能够在给定的基板上产生精确和高度详细的图桉设计。光刻胶系统用于制造半导体、存储芯片和其他重要的电子元件。SRT-300光刻装置采用聚焦的定向光能源，对被加工的基板产生精确的蚀刻效果。机器可以使用多种不同的蚀刻源如KrF准分子激光、I-line，以及其他更高能量的紫外线光源。它还可以存储图样数据,以便在每个基板上蚀刻或平版印刷复杂、详细的设计。KAIJO SRT-300使用掩码对齐过程,以便在每个基板上准确应用模式数据。它提供高对齐精度和高吞吐量,使其能够快速创建具有高精度的定制基板。SRT-300过程还可以实现精确的抗蚀性轮廓控制以及过程控制和预测,从而真正磨练蚀刻过程的精度。此外，该工具还具有可重复的晶片到晶片对准和出色的覆盖配准，以确保最佳的基板输出。KAIJO SRT-300还具有内置的安全功能,有助于保护流程及其操作员。它包括以下功能：一个验证对准精度的自动零机制、一个易于处理多余残留物的注射器访问冲洗站、一个将污染物的小碎片排除在加工室之外的双级过滤器，以及基于淤泥保护和常识的安全操作，以进一步帮助保护预期的输出质量。总体而言，SRT-300为半导体制造过程中的光刻胶系统提供了最先进的技术。它提供了高精度的蚀刻，使晶片和基材质量达到最佳。资产还提供保护和安全功能,以确保正确完成蚀刻过程,而不会产生任何有害结果。