二手 KARL SUSS ACS 200 Plus #293738220 待售

KARL SUSS ACS 200 Plus是一款用于高精度光刻和蚀刻应用的光刻设备。该系统提供了一种开发和处理各种光刻胶的自动化方法，以确保在各种基板上进行精确的图样或蚀刻。此单元可用于绘制横向分辨率低至0.5 μ m的特征阵列。它的工作原理是利用精细的激光光源将基板暴露在光束下。光照被用来改变光敏胶的灵敏度。改变后的光致抗蚀剂对随后的化学处理有不同的反应，并且根据所使用的光致抗蚀剂的类型，或多或少对溶剂或蚀刻剂具有抵抗力。这使用户能够在基板上创建清晰准确的图案。机器的先进显微镜允许对各种各样的晶片和基板进行精确的可视化和检查。它还具有3 μ m的位置精度，确保无论基板的大小或形状，都能准确地应用图样。激光控制光束的大小提供了精确精确的均匀曝光强度，提供精确的特征大小和精确的图桉。ACS 200 Plus能够在预定的掩码范围内达到± 10%的临界尺寸（CD）精度。它还具有使用复杂掩码集设计的功能。该工具还有一个流程管理资产，可以同时监控和控制多个流程。这使得模型能够在一次运行中处理大量的基板，使其成为光掩模制造和高容量/高效生产过程的理想选择。此外,KARL SUSS ACS 200 Plus具有出色的温度控制和先进的气流控制,可确保晶片和基板加工时的最高可重复性。它的灵活性允许使用各种各样的底物和化学品，以确保它能够有效地用于许多不同的应用。总体而言,ACS 200 Plus是一款先进的光刻设备,具有高精度的特性分辨率、出色的可重复性和一次处理多个过程的能力。这使其成为光掩模制造、晶圆加工和蚀刻的理想选择。