二手 KARL SUSS ACS 200 Plus #9300428 待售

KARL SUSS ACS 200 Plus是一种自动化的光阻处理设备。它是一个坚固的系统，用于处理化学和机械提升薄膜材料，如光刻胶，金属和电介质。这种光刻装置的特点是经过优化的设计，具有可靠和可重复的结果，操作简单，方便用户。这台自动化机器可以同时处理多达12个晶片，达到均匀的涂层厚度和出色的线性。该工具提供先进、精确的过程控制，具有可重复、可预测的结果，是成本效益高的光刻过程的关键。该资产采用化学管理模式，通过记录整个过程中的化学浓度，确保安全运行。该设备还配备了自动浇头泵，用精密校准浓度的清洁化学品给加工室重新填充。ACS 200 Plus拥有最新的先进冲洗技术，提供精确可靠的冲洗尖峰以及冲洗控制。它还包括一个先进的6通道自旋控制器，对每个通道进行加速和减速时间不同的同步和独立速度控制，以优化自旋过程。光刻胶系统还具有先进的可编程性，可通过定制加速和减速对配方进行精确优化。此外，控制器还可以在过程提交到晶片之前进行模拟，确保最佳性能和可重复性。KARL SUSS ACS 200 Plus是一款具有许多创新功能的高可靠性、高效的光阻装置。通过精密的自旋涂层、可编程的化学管理和先进的冲洗控制，实现了可靠、可重复的光刻加工。该机能够处理高精度光刻工艺，是前沿半导体制造的宝贵工具。