二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 Gen3 #293771037 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 Gen3是一种光刻设备,具有先进的自动化光刻能力,可实现工艺优化和更大的灵活性。该系统允许光刻材料的自动和精确对准和曝光对准，用于制造半导体器件。这一单元的设计提供了非常精确的光学开发和对准能力与八轴精度。自动化控制可以集成到暴露和开发等过程中,从而减少对手动输入的需求。其他功能（如带有图像缝合的自动调平选项）有助于优化纳米级图桉的可重复性。MICROTEC ACS 200 Gen3内置晶片装载机，最多可容纳四个300 mm晶片，允许多批处理。双光束光学器件改进了晶圆操控，有助于减少曝光时的烧伤痕迹。它还具有可编程的紫外线暴露时间，可以根据正在开发的模式的复杂性进行调整。这台机器的曝光对准引擎与其他类似系统相比相当先进。这包括一个3轴晶片级与一个可调节的激光工具自动对准。它还具有自动调整对齐算法和主动特征识别技术，以优化对齐，减少处理时间。该资产的集成用户界面相当直观，用户友好。它具有简化的图形用户界面以及灵活的工作流引擎,使操作员能够根据自己的自定义设置对模型进行编程。KARL SUSS ACS 200 Gen3能够独立运行或集成到群集环境中。这是一项非常有价值的功能,使客户能够轻松地将此设备部署到一个或多个系统环境中。在多单元环境中,用户可以轻松地跨系统传输模式,同时利用增强的可扩展性,进一步增强复杂纳米级结构的开发。综上所述,ACS 200 Gen3是一款先进的光刻机床,具有丰富的特性和功能,能够改进工艺优化,并为纳米级图桉制造提供精确的对准和曝光。该工具具有许多吸引人的功能,例如具有直观用户界面的自动化资产、多轴曝光对准引擎、可编程的UV曝光时间,以及集成到独立或多模型环境中的能力。