二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293619870 待售
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ID: 293619870
优质的: 2013
(2) Coater / (2) Developer system
Includes:
Chiller / Canister tank
Loader / Unloader
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种适合于广泛应用的光刻设备，包括光刻和晶圆曝光。该设备使用户能够轻松访问和调整UV光强度和曝光时间的设置。MICROTEC ACS200具有方便的设计,具有集成的曝光室、光盾和现场验证的线性步进电机,用户可以准确定位晶圆,同时确保最大程度的曝光均匀性和可重复性。此外,该系统还具有无快门操作功能,可消除遮罩的变化,以及可调节的灯具机构,以帮助垂直对焦调节。MICROTEC高级成像软件支持KARL SUSS ACS-200的功能，该软件提供了一个具有完全可编程功能的综合暴露参数数据库。此功能使ACS 200在一次运行中每次曝光最多可打印5个掩码,同时还能够存储多个晶圆尺寸的曝光设置。KARL SUSS ACS200还具有真空卡盘,可实现先进的晶圆曝光精度和快速曝光速率。曝光室适合多种基板形状和尺寸，并配有两套集成控制系统，一套用于舞台和曝光控制，另一套用于快门控制。此外，温度稳定有助于确保可重现的结果。KARL SUSS ACS 200结合了一个集成的液体冷却装置，以帮助保持狭窄的温度范围，从而获得高灵敏度的结果。综上所述，MICROTEC ACS-200光刻机是一种先进的高性能工具，具有先进的特点和可靠性。它使用户能够准确执行各种曝光过程，同时保持一致性、可重复性和温度控制。
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