二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293756494 待售
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ID: 293756494
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 2001
System, 4"-6"
Photoresist developer, 2"-8"
(2) Photoresist dispenses
Vapor prime hot plate
(5) Hot plates
(4) Chill plates
(2) Cassette elevators
(2) Standard robots
Wafer backside rinse
CE Marked
Cassette
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光抗蚀剂处理设备，其设计允许对基板进行精确的蒙版制造和涂层剥离。该系统是一个功能齐全、自动化的湿处理单元，能够进行高速掩模处理，从而在从光刻到MEMS的各种应用中创造出细线、高质量的图像。该机主要由三个部分组成：面罩处理器、面罩清洁器和开发者.MICROTEC ACS 200的掩模处理器可提供均匀的照明,用于高度精确的掩模制造,并提供顶部或底部曝光选项。此外，MICROTEC D-酸湿工艺化学物质用于冲洗、去除或替换掩蔽板上残留的化学物质和颗粒。这一过程允许对口罩进行统一和有效的处理。KARL SUSS ACS-200的口罩清洁剂确保了抗蚀剂涂层表面的最高质量清洁。内存编程的控制工具允许使用膜过滤技术对面罩表面进行精确清洁，确保在烘烤和开发前清除高污染物。KARL SUSS ACS 200的开发者能够执行广泛的开发步骤，包括背面（低能源）开发、顶端（高能源）开发、轻型洪水（低能源）和化学浴洪水（高能源）。这样可以精确控制开发过程,并能够控制每个步骤所花费的时间。ACS 200是微光刻、湿化学加工、掩模制作和原型制作等应用的理想解决方桉。该资产允许流程可重复性和对开发流程的精确控制。凭借其先进的控制程序,KARL SUSS/MICROTEC ACS200可以处理各种掩模制造过程,从而确保产生最高质量的图像。
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