二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9150840 待售

KARL SUSS / MICROTEC ACS 200
ID: 9150840
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KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是设计用于多种应用和模式的光阻处理设备。该系统允许研究人员以严格的控制、准确性和精确度来处理光致抗蚀剂。该设备采用双光束扫描功能,可在三个方便的步骤中制作微光刻图样:薄膜成像、显影和软烘烤。为了适应各种基板高度,该机设计了一个Z-Stage,允许垂直位置的自动调整。数码相机为工具用户提供了一种高效的图像捕捉方法,可以对其进行处理以创建所需的光掩码。为了最大限度地提高效率,该资产被设计为只在一个过程中执行所有相关的光刻任务。通过仅使用一个机器设置,该模型提供了高度的可重复性、可靠性和一致性。此外,该设备还设计了一个独特的盒式磁带到盒式磁带平台,每个周期可独立处理多达40个不同的晶圆。为了确保安全和精确的操作,MICROTEC ACS200采用了多个级别的安全协议。该系统采用自动快门设计,可防止不必要的光刻光束暴露,并且该单元利用对光束电流、曝光时间和扫描序列等多个参数的独立控制。此外,该机器还配备了1级激光互锁工具,可监控激光状态并在必要时中断进程。KARL SUSS ACS-200还旨在最大限度地提高用户的生产力和效率。该资产支持多种流行的CAD格式,数据可以存储在USB闪存驱动器上。该模型还使用户能够根据自己的特定需求创建自定义软件。此外,背光液晶显示屏还提供直接性能监控,以实现无缝操作和准确生产。KARL SUSS/MICROTEC ACS-200结合了自动化过程和精确控制,是理想的光敏处理设备。该系统提供了一种高效、可靠和一致的光掩模创建方法,简化了光刻工艺。最终,KARL SUSS ACS 200为需要精确光刻处理的用户提供了一个快速有效的解决方桉。
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