二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9180365 待售

MICROTEC/Microtron KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光阻设备，非常适合用于半导体、光电及相关应用。该系统利用光敏材料（对光敏感的材料）以高精度创建复杂的图样。该装置采用喷枪式曝光头或更常规的"点射"头。对曝光头进行校准，为所使用的光致抗蚀剂材料提供最佳剂量的光。光致抗蚀剂材料被放置在晶片上，然后曝光头会以预定的模式在晶片上移动。这导致按照用户的愿望在晶片上创建光刻胶图样。机器使用闭环监控工具来检测光刻胶的过度曝光或不足曝光。如果检测到不正确的曝光，资产可以快速修正，使光刻胶层得到最佳曝光。此型号还允许使用内部或外部感光监视器来监视光通量。MICROTEC ACS200可以加工直径不超过200毫米的晶片以及不超过8英寸方形的基板。它具有分配多层光敏材料的能力，有助于获得精确、准确的结果。它还具有自动化体验，提供平滑、无振动的曝光过程。设备使用方便,安装时间最少。它非常可靠,即使重复曝光也能提供一致的结果。此外，该系统可容纳多种光敏材料，从而在材料选择方面具有灵活性。最后,KARL SUSS ACS-200完全自动化,并配备了全面的故障排除指南和远程诊断支持,便于维护和故障排除。