二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9207173 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光刻胶设备，设计用于从薄膜器件制造到厚光刻胶图桉等多种应用。该系统利用一个微米站点和一个垂直级,使用户能够有效地处理尺寸不超过8英寸的基板。使用133毫米XY/倾斜式自动电机坐标单元可确保精确可靠的图样移动。此外，一个自旋卡盘加上机器的旋转能力允许光刻胶的均匀应用到基板上。MICROTEC ACS200包括一些优化用户性能的功能。该工具采用结晶石英工艺室，确保了对薄膜沉积过程的严格控制，降低了未烘烤抗蚀剂工艺系统中常见的污染风险。其枢轴门由四曲玻璃设计组成，增强了用户的整体安全性和能见度。此外,此光刻胶资产由一个功能强大的控制器控制,该控制器可访问预装的各种阵列程序,以便于根据用户的要求进行自定义。KARL SUSS ACS-200可用于广泛的处理应用,包括：负性、中间性和正性抗性显影；薄膜器件真空沉积；化学干蚀刻；灰化加工；以及可堆叠的抵抗过程。模型的分类过程和配方也被加载到控制器中，从而消除了用户协调工具和晶片所需的时间投入。此外，整个光刻胶设置采用坚固的全铝结构，以防止腐蚀，并适当涂上耐腐蚀的黑色环氧漆。归根结底,KARL SUSS/MICROTEC ACS200是一种可靠的光刻设备,可为用户提供一系列精确处理功能。其微米级和单个垂直级为处理任何尺寸的基板提供了准确性，而高级控制器则使用户能够访问各种程序和过程。该系统还旨在降低污染风险，提供安全易用的环境。