二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9213836 待售
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ID: 9213836
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Coater / Developer system, 8"
Material Handling Unit (MHU):
GENMARK Gencobot 8Y robot
Robot end effectors
Robot cassette scanner
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Universal centering station
Optical prealigner
Spin coat module:
GYRSET RC 8 Spin coater
Spent chemical monitoring scale
VULCAN Dispense pump
Virgin dispense pump
MILLIPORE Wafergard Gen-2 plus pump
MILLIPORE Wafergard Chemical dispense system
Timed pump
HCV Module:
Hot plate chamber
Cold plate chamber
Vapor prime chamber
Cassette module:
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Filler module
Chemical dispense module
Aqueous based developer module
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光刻胶系统，用于在集成电路和其他半导体器件的制造中对光刻胶材料进行图样化。它由三个主要组成部分组成：光源、透镜和基板级。光源是产生350-460 nm波长范围内的相干紫外（UV）光的氙离子激光器。透镜将这种光聚焦在基板上，产生所需图桉的二维（2D）影像。基板级保持光刻涂层基板，而激光束通过电子扫描形成图样。MICROTEC ACS200由于具有高能、高功率、单波长的激光源，提供了卓越的光阻分辨率和重复性，减少了因曝光重迭造成的图样变形。图桉尺寸可从1 μ m调整到10mm,斑点尺寸可在0.1 μ m步长内变化。基板级可以在曝光时倾斜，以控制入射梁的角度，这对于控制图样的大小很重要。KARL SUSS ACS-200适用于光敏玻璃、聚合物微透镜、环氧基抗蚀剂等光敏材料类型。该系统还包括内置冷却以减少暴露过程中基板的加热和"石头"型聚焦激光调节，从而最大限度地减少像差并允许用户实现亚微米分辨率。此外,KARL SUSS/MICROTEC ACS200对用户友好,具有图形用户界面,用户可以从命令行或通过GUI监视曝光参数,如电源、速度和曝光时间。KARL SUSS/MICROTEC ACS-200的灵活性允许执行多个应用，例如暴露二维光掩模和亚微米范围内使用的接触孔阵列。总体而言，ACS200是一种易于使用的光刻系统，在微电子器件的制造过程中提供了卓越的分辨率和重复性。坚固可靠，适用于各种光敏材料类型。
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