二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9252577 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种设计用于微加工和微电子工艺的光阻设备。该系统采用深层紫外线光源和定制显示器，提供精确的薄膜厚度控制和出色的图样分辨率。光致抗蚀剂被应用到基板上，通常是半导体晶片或PCB，并暴露在光线下在材料上形成图样。MICROTEC ACS200是一种可精确排列多种基板的步进重复对齐器。它具有高精度和可重复的掩模级，使得层的亚微米对准。光源是一款200瓦的集成汞氙灯，功率设置从1到100%可调。这允许根据所使用的材料和基材类型定制曝光能量。曝光监视器跟踪传递到底物的光的剂量，确保每次曝光的精确剂量。该机可用于自旋涂层、接触对准、晶圆成像、光波导生产等多种工艺序列。它被设计为与广泛的光致抗蚀剂一起使用，包括负片、正片、DIEN和不可照相成像的产品。还包括标准的背面成像模式，可用于导电聚合物或单面印刷等应用。KARL SUSS ACS-200提供出色的薄膜控制,允许精确的模式注册.它的高精度输出确保了最终模式中最小的扭曲和缺陷。这将为最终用户带来更高的收益和成本节约。该单位还提供若干安全功能，以确保使用者和附近任何材料的安全。总之，MICROTEC ACS-200是一种在微加工和微电子工业中使用的鲁棒式光刻机。它具有先进的功能,如深层紫外线光源、用于精确薄膜厚度控制的监视器和高精度可重复遮罩级。这些功能为该工具提供了出色的模式配准、最小的扭曲和高产率,从而节省了成本。此外，其安全特性确保用户安全和生产材料的质量。