二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9267343 待售
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KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光刻设备,主要用于光刻应用。光致抗蚀剂是一种光敏材料,用于在表面上形成微观图样。它与紫外线光源结合使用,化学蚀刻图样成选定的基材。MICROTEC ACS200利用先进的光刻技术将图样牢固地蚀刻到基板上。这种光刻方法是一个两步过程,涉及使用KARL SUSS ACS-200和光刻处理器。首先,晶片安装在KARL SUSS ACS 200的平台上,使它们暴露于紫外线暴露源。然后将暴露的晶片放入光刻处理器,并应用光刻胶层。这样可以确保图样从暴露的晶片完全转移到光刻胶层中。一旦光致抗蚀剂层到位,就将显影剂引入系统,以加强光致抗蚀剂与底物之间的键合。显影剂进一步硬化光刻胶,提高光刻分辨率。ACS 200由于使用了氟掺杂氧化锡,因此可以精确控制图样特征。该单元还提供了一个统一的环境扫描机,用于监控过程进度和提高操作效率。该工具还提供了一个高精度的手动光学导航资产,方便精确污名的过程。总之,MICROTEC ACS 200是一种可靠、精密的光刻胶模型,用于蚀刻基板图样。该设备具有高度的精确度和改进的光刻分辨率,非常适合需要精确控制图样特征、统一监控过程和提高操作效率的应用。
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