二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9353323 待售
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ID: 9353323
优质的: 2001
Coater / Developer system, parts machine
Missing parts:
Robot
Loadport
Hot plate
Chuck
PC
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光刻涂层和开发设备，设计用于制造晶圆级器件。该系统能够将复杂特征精确蚀刻到晶圆表面或其他微观结构中，从而能够用于制造先进的微电子和光电子设备。该单元由曝光站、涂层站和自旋冲洗站三大部分组成。本机采用多种开发方桉设计，可直接涂层、烘烤和开发操作。曝光站使用紫外线（UV）光，以便将光刻胶均匀地固化到晶圆表面上。紫外线通过标线聚焦到晶片上，暴露出需要蚀刻的区域。光照是通过个人计算机编程和控制的，光照可以设置到任何期望的水平。涂层站用于将光敏材料施加到晶片表面上。光刻胶材料包含在墨盒中,在需要时将其安装到机器中。然后使用自旋涂层技术，将光致抗蚀剂涂在均匀薄膜的晶片表面上。自旋冲洗站用于从晶片表面去除任何多余的光敏材料。晶圆被放置在自旋冲洗站内部，在那里它被浸入化学溶液中，如MICROTEC D 810显影剂或KARL SUSS D 820显影剂。此溶液再与晶圆表面的光敏材料溷合，使其溶解任何多余的材料。一旦冲洗过程完成，晶圆可以被移除，并允许空气干燥。MICROTEC ACS200是一种通用可靠的工具，能够快速、准确地产生复杂的微观特征。它旨在提供可靠和一致的性能,并具有各种功能,使用户能够从设备中获得最大的收益。该资产广泛应用于微电子和光电器件的生产，是发展和制造尖端技术的宝贵工具。
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