二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9355505 待售
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ID: 9355505
晶圆大小: 8"
优质的: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist pumps
(6) Chillers
(4) Load ports
(2) Coater cups
(2) Developer cups
HMDS Module
(6) Hotplates
(3) Coolplates
(2) SANKYO SC5000 Robot controllers
Power rack
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是世界知名的光刻设备，设计用于半导体器件的光刻研究、开发和生产。系统采用步进电机，行程4.0毫米，高精度0.5 µm。该装置还配备了2-Axis剪切工具，减少了设备的制造时间和成本。该机器旨在最大限度地提高晶片级和掩模级流程的生产率。它还能够支撑各种厚度和大小的基材。MICROTEC ACS200的设计目的是跟踪在晶圆或掩码级别确定相片处理参数的众多参数。它配有带有压电自动对焦的晶片卡盘，确保晶片可重复性。该工具还能够支持多个接触源。它使用LED或Xenon光源进行曝光,同时还具有光强度稳定和可变曝光带,其活动图像尺寸可达465mm ²。此外,它还配备了自动快门和掩模舞台,可确保将布局图桉精确对准基板或掩模表面。KARL SUSS ACS-200还配备了内置、直观、高吞吐量的软件控制器，提供用户友好的操作。控制器能够操作多步骤可重复曝光和过程。这使用户可以从灵活的控制和数据分析功能中受益。此外,还可以使用内置的可编程接口轻松定制资产以满足额外的流程要求。该模型还提供了一个高质量的环境，以确保最佳性能。它旨在减少操作过程中的松弛和振动，以确保最佳效果。该设备还有助于减少光敏侵蚀，以增加设备的寿命。KARL SUSS ACS 200是一个先进的光刻系统，旨在为用户提供无缝光刻能力。它配备了一系列功能,可确保将布局模式精确对齐基板或掩模表面,并提供高效的数据分析功能。而且，它直观的控制和界面使得操作和定制更容易满足用户的特定需求。该装置还设计为提供一个舒适的环境，减少振动和光刻侵蚀，以最大限度地提高设备寿命和产品产量。
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