二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9365925 待售

KARL SUSS / MICROTEC ACS 200
ID: 9365925
Lithography system.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一种光阻设备,设计用于半导体材料的精确操纵。该系统具有纵向行进160毫米的精密级,两个独立的x-y级,以及射程200毫米的单z级。它还包括一个自动抄写员和样本对齐工具集,以及分辨率为0.25 µm的三维成像能力。先进的光学单元包括24位滤波器轮、三级透视照明器和偏振滤波器。本机具有控制背面照明和正面紫外线照射的能力。它还具有广泛的动态范围,可以进行五个数量级的测量,以及一个反射率传感器。此外,还有一个干涉仪、图像分析套件、光束剖面仪和掩模扫描仪,用于结构的高分辨率检查。内置激光显微镜可增强成像能力。MICROTEC ACS200光敏工具在其应用中提供了高精度和精确度。适合于光刻、MEMS制造、光伏器件制造、半导体器件制造、生物医学器件制造等应用。其独特的特点允许对半导体材料进行精确的操作,从而能够高效、高质量地制造产品。总体而言,KARL SUSS ACS-200是一种先进的光致抗蚀剂资产,能够高效生产优质产品。这种装置具有很强的精确度、准确度和灵活性相结合,功能广泛,是广泛应用的绝佳选择。
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