二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9365974 待售
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KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是为在半导体、微电子和光电器件制造中广泛的高端应用而设计的光刻设备。它是一种用途广泛、成本低廉的半导体晶片加工工具,以工艺速度高、控制精准、重复性好而闻名。MICROTEC ACS200的设计旨在促进晶片的快速加载和剥离过程。它在晶片支架中加入了单晶片自旋显影解决方桉,并有一个易于使用的5轴系统,精度高,处理步骤如抗蚀条、光敏涂层/显影、溅射蚀刻反应快。该单元包括两个400W UV灯,与二维模式曝光提供增强分辨率。此外,KARL SUSS ACS-200配备了内置互锁,以确保人员和设备在运行过程中的最大安全。增加了空气供应、再循环和安全系统,以加强单位监测。总而言之,ACS-200是为快速、可靠的操作而设计的,其板载硬件可在各种处理任务中提供无与伦比的可重复性。KARL SUSS ACS 200还包括几个有用的软件程序,以帮助提高生产率和促进机器的快速安装和操作。该软件使用户能够对其工作流程进行编程和控制,并以优异的精度评估薄膜厚度、层轮廓和各种组件的直径。此外,该软件还使用户能够深入了解流程变化,并帮助用户优化流程参数。总之,ACS 200是一种可靠的光敏工具,用于各种苛刻的工艺。它为各种晶圆参数提供了快速、精确的开发和一致性,从而使设备得到尽可能好的利用。它还具有全面的安全功能和众多的软件选项,以确保提高生产效率和准确性。
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