二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9384472 待售

ID: 9384472
晶圆大小: 8"
Coater / Developer system, 8" Glass damaged.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是半导体工业中用于器件製造的光敏设备。它是一个高度通用的系统,能够产生高度精确放置的高分辨率模式。该单元具有用于精确定位和对准的5轴运动控制,以及用于精确形成图样的高分辨率激光控制。机器使用高分辨率遮罩对准器将光刻胶材料精确放置在设备上。使用高性能激光源来创建精确的模式。然后将材料暴露在紫外线光源下,从而使光致抗蚀剂材料变硬。光致抗蚀剂硬化后,可以使用遮罩对齐器将图桉精确地放置在设备上。MICROTEC ACS200允许灵活调整光敏材料的厚度以及图样的分辨率。该工具还包括全面的分析工具,如"反射显微镜",可对图样进行精确表征。此外,资产能够产生各种图桉形状,包括直线、弧形和形状组合。KARL SUSS ACS-200光刻胶模型是为满足半导体工业的关键需求而设计的,具有无与伦比的精度和可重复性。该设备的精密控制和高度精确的阵列放置允许以无与伦比的精度快速高效地生成极其复杂的阵列。高性能激光控制有助于确保图样具有高度的均匀性,在分辨率方面变化最小。具体来说,系统可以达到高达1微米或更高的分辨率。MICROTEC ACS 200是一种可靠且极精确的光阻装置,旨在满足半导体工业的严格需求。凭借其精确的控制、高分辨率和可重复的精度,该机具有高度的多功能性,可用于快速高效地产生多种模式。
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