二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9356898 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2是一种用于紫外线或电子束光刻的光刻设备。它是一种功能齐全的系统,旨在提供高精度、高速和可重复的结果。该单元配备了多种不同的技术，使其能够在光刻工艺的各个阶段提供优越的性能。机器的核心是精密的xy级。这是一个先进的工具，可确保基板在整个光刻过程中始终牢固地固定在适当的位置。精密xy级的角分辨率为1 µm，能够产生具有纳米级精度的对齐图桉。舞台还配备了电动真空资产，确保基板在光刻过程中牢牢地固定在舞台上，为化学过程提供了优越的性能。该型号还配备了多种成像光学器件。这样可以在曝光过程中均匀分布照明,并确保实现一致且可重现的制图过程。该设备还具有可调节的快门，可用于限制散光在曝光时的入口，确保精确的平版印刷过程和减少边缘效应。该系统能够使用各种化学抗药剂，包括负作用和正作用。通过使用可变能量剂量，抗蚀剂可以准确可靠地暴露于所需的水平。该单元还内置干洗技术，显着减少了光刻后的清洗时间。MICROTEC ACS 300 Gen2光刻机设计为提供高精度光刻，具有极好的重复性。其精密的xy级、可调的光学器件以及可变的能量剂量特性使其成为纳米级光刻的理想选择。它内置的干洗技术确保了光刻后的清洁最小化，而它与不同的化学抗蚀剂的广泛兼容性使得它适合各种应用。