二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9383384 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2是一种光刻设备，用于半导体工业中使用的先进光刻和薄膜沉积工艺。该系统能够提供所有必要的设备，包括光源和步进光刻，以便在各种基板表面上蚀刻光刻石层。MICROTEC ACS 300 Gen2与其他光刻胶系统相比提供了更高的性能和准确性,因为它旨在提供可靠和准确的结果,并对整个光刻胶层创建过程进行精确控制。该单元由具有先进曝光技术的步进器组成；为了实现图像的完美蚀刻和传输,步进器具有高达150微米x 150微米的全场成像能力,以及在自动曝光模式下3nm ±的覆盖精度。步进器的强度也高达20mw/cm ²波长范围从365nm到632nm。KARL SUSS ACS 300 Gen2采用先进的扫描技术设计,有助于提供高通量,非常适合确保光刻胶层的完美蚀刻,无论其基板或几何形状如何。这台机器能够精确地蚀刻、清洁光刻胶层，并以无与伦比的精度将其转移到基板上。这是通过一个优化的过程来实现的，该过程结合了高暴露剂量、稳定的步进运动以及完美控制的温度和湿度水平。ACS 300 Gen2的用户友好界面使其易于使用，允许用户在操作员的最少指导下方便地编程和监控过程。此外，KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2为低维护和最大安全性而设计，并配有减少污染的氮线，以及优化扫描操纵器以帮助减少尘埃颗粒。此工具还具有完全自动化的自我诊断功能,可确保最佳资产性能。MICROTEC ACS 300 Gen2已经测试，并显示在广泛的温度范围内能可靠地运作，使其适合于各种光刻和沉积应用。KARL SUSS ACS 300 Gen2具有所有这些功能,是光刻层精密蚀刻和转移的完美解决方桉,为用户提供了先进的光刻和沉积工艺的强大工具。